2022-01-17
org.kosen.entty.User@8711128
김주남(kimjnam007)
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안녕하세요. 현재 CVD(Chemical vapor deposition)장비를 개조하고자 합니다.
원료로서 수소(20 SCCM)와 고체 황을 증발시켜 기체원료로 사용하고자 합니다.
이럴경우 황화수소가 발생을 하게 되는데 그것을 제거할 간단한 장치를 설치하고자 합니다.
연구비 상황상 고가의 장비를 붙일 수는 없고, 로터리 펌프에서 배기할때 덕트로 나가는
사이에 최대한 제거할 장치를 넣고자 합니다.
H2S제거 장치에 관해 지식이 있으신분은 공유 부탁드립니다.
원료로서 수소(20 SCCM)와 고체 황을 증발시켜 기체원료로 사용하고자 합니다.
이럴경우 황화수소가 발생을 하게 되는데 그것을 제거할 간단한 장치를 설치하고자 합니다.
연구비 상황상 고가의 장비를 붙일 수는 없고, 로터리 펌프에서 배기할때 덕트로 나가는
사이에 최대한 제거할 장치를 넣고자 합니다.
H2S제거 장치에 관해 지식이 있으신분은 공유 부탁드립니다.
- H2S
- CVD
- 제거
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 4
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답변
전재완님의 답변
2022-01-18- 1
기재하신 내용만으로는 정확한 답변이 어렵다고 생각합니다.
피드성분으로 수소와 고체 황을 증발시킨 S(g)를 원료로 사용하시고,
가스상태의 수소와 황이 반응해서 황화수소가 생성되는것이 문제라는 것인가요?
일반적으로 산성가스를 처리하는데 있어서는 아민계흡수액(30wt% MEA(aq.))을 사용하는것이 일반적입니다.
가스 라인에 아민흡수액의 버블러(=가스정화 장치)를 추가하시는것은 어떠신지요?
이 방법은 가스가 아민 흡수액을 통과하며 산성가스는 제거되지만, 아민 흡수액이 일부 포함 될 수 있습니다.
그러나, 덕트로 그냥 보낸다면 큰 문제는 되지 않을 거 같습니다. -
답변
조권호님의 답변
2022-01-20- 1
황화수소를 탈취하는 방법은 어떨까요?
황화수소를 내보는 곳에 간단하게 미세분무를 할 수 있는 장치만 부착하면 황화수소를 제거할 수 있는 천연소재 친환경탈취제로 수산기(OH)와 카르복실기(COOH)가 있습니다.
황화수소와 작용기와 화학적 결합에 의해 안전한 물질로 전환되기 때문입니다.
H2S + R-OH → R-SH +H2O
H2S + R-COOH → R-COSH +H2O
참고하세요. -
답변
최규석님의 답변
2022-01-21- 1
시중에 판매되는 스크러버를 달 수 없는 경우에는 스크러버처럼 할 수 있는 장치를
간단히 만드시면 될것 같은데요. 대기, 수질쪽에 보면 스크러버 원리가 잘 나와있으니까요.
제 개인적인 생각으론 아무리 가격이 저렴한 가스를 이용한다고 해도 실험을 계속적으로 해야되는거면
업체들이 가지고 있는 스크러버들도 송풍기를 이용해서 버블링 시켜주는 스크러버들이 있던데요.
송풍기를 이용해서 버블링을 시켜주면 스크러버처럼 만들 수 있지 않을까 생각합니다. -
답변
조윤환님의 답변
2022-02-28- 1
질문 내용으로 미루어 짐작해보면, CVD 챔버에 H2와 S vapor가 공급되는 상태로 보입니다.
H2S는 이 두 성분이 기체 상태로 만나기 때문에 만들어지는 성분이겠죠.
정황 상 H2S는 원치 않는 물질인 것 같네요.
H2S는 공기 중에 10ppm 이하로 관리되어야 하고 그 이상일 경우 심각한 건강 상 문제를 야기할 수 있습니다.
0.01ppm 정도에서도 악취가 느껴지며, 50-100ppm을 초과하면 심한 안구 및 폐손상, 기절, 사망 등이 일어날 수 있습니다.
가스 자체가 산성을 띠고 가연성이며, 수소와 함께 사용되므로 특히 화재, 폭발에 유의하여야 합니다.
산성 가스가 진공펌프로 계속 유입될 것이기 때문에 펌프에 부담이 될 것 같습니다.
따라서 CVD 챔버와 진공펌프 사이에 H2S 흡수제(고체) 컬럼을 설치하면 좋을 것 같습니다. 물론 발생량이 문제일 것 같습니다.
일반적으로는 알카리 수용액이나 아민 수용액으로 흡수하는 방식을 사용합니다만 진공기계장치에 문제를 일으킬 가능성이 높기 때문에 고체 흡수제를 사용하시면 좋을 것 같네요.
고체 흡수제를 기체가 통과하는 컬럼 형태로 제작해서 사용하시고 진공펌프 직전에는 indicator 컬럼을 연결해서 고체 흡수제의 수명을 확인할 수 있도록 하는 것이 중요합니다.
고체 흡수제로는 Fe2O3, ZnO, CuCO3나 알카리로 개질된 활성탄 등을 고려해볼 수 있습니다.