2023-05-14
org.kosen.entty.User@3d96377
류시원(ektldnjs123)
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안녕하세요 선배님들
ALD에서 Monolayer thickness보다 Growth Per Cycle(GPC)이 낮은 이유가 궁금해 질문드립니다.
TiN의 격자상수는 4.24A이고, FCC구조로 되어있어 Monolayer thickness가 2.12A일 것으로 생각됩니다.
그런데, TiN을 증착해보거나 논문을 보면 TiN ALD의 GPC가 ~0.4A/cycle로 Monolayer thickness에 비해 현저히 낮은 것을 확인할 수 있습니다.
1. Steric hindrance에 의해 GPC가 낮아질 수 있다고 알고있는데 이정도로 영향성이 큰가요?
2. GPC와 Monolayer thickness의 차이가 이렇게 큰 다른 이유가 있을까요?
3. 다른 물질을 증착할 때에도 TiN처럼 6~7 cycle당 1 layer가 증착되는 정도일까요?
긴 글 읽어주셔서 감사드리며,
즐거운 주말 보내시길 바랍니다 :)
- ALD
- Steric hindrance
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
김주남님의 답변
2023-08-25- 0
완전히 퍼펙트하게 이상적으로 움직이다면 그렇게 될 수도 있습니다. 그러나 여러변수들이 발생하죠. 관련 논문을 첨부해드립니다. 한번 읽어보시면 대략적인 느낌이 오실겁니다. 그럼 이만.