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금속 pallet을 source로 해 증착하던 thermal evaporator를 이용해 새로운 유기물 (Cs2Co3) powder source로 증착하면 chamber 내부가 많이 오염되고 후에 금속을 다시 증착할 때 영향이 클까요?
또 유기 물질의 경우 텅스텐 보트가 아닌 Mo 보트를 써야 하는 건가요?
- thermal evaporator
- Deposition
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변
김병관님의 답변
2023-06-02- 1
안녕하세요.
쓰시고자 하는 물질이 Cesium carbonate (Cs2CO3)인듯 합니다. powder source를 사용하면 가루가 챔버 내부에 날릴 수 있기 때문에 조심해서 넣었다가 빼야할 수 있습니다. 챔버는 비슷한 source끼리 사용하는게 좋기는한데요. 금속과 oxide를 혼합하여 사용하면 다른 금속 증착할 때 O 오염이 되어갈 수 있긴합니다.
Cs2CO3와 같은 oxide 물질 이외에 유기물질도 W 보트 사용할 수 있는데요. Mo가 W보다 녹는점이 낮아 Mo를 말씀하시는 이유를 잘 모르겠습니다. W과 반응하는 물질이 아니라면 그렇게 영향이 크지는 않을 것 같습니다.
그리고 Cs2CO3의 녹는점이 600도 대로 높지 않아서 증착도 어렵지는 않을 것 같습니다.
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답변
정연학님의 답변
2023-06-21- 0
분말 사용시에는 아무래도 잔류 분말이 남기 때문에 잘 제거하는 것이 중요하고
남아 있으면 타 source 증착시 불순물로 작용할 수 있음(물론 사용온도에 따라 달라질수도 있지만)
원하는 상이외 다른 반응을 할 수 있습니다.
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답변
김주남님의 답변
2023-08-30- 0
챔버가 오염되는 것이 신경이 쓰이는 듯한데, 일단 챔버내에 열증착을 할 경우 확산되므로 챔버 벽에 붙게 됩니다.
다만 그 다음 열증착을 진행할 때 챔버 벽에 붙어 있는 넘들이 다시 날아와서 시료에 증착 될 가능성은 고려하지 않아도 됩니다.
결론적으로 영향은 없다고 생각해도 됩니다.
어떻게든 신경이 쓰인다면, Cs2CO3를 증착하고, 아무 금속이든 한번 시료 없이 그냥 날려서 챔버 벽에 있는 Cs2CO3를 코팅하고, 시료에 금속을 증착하면 문제는 확실히 없어집니다.