2023-06-07
org.kosen.entty.User@63cf1eaf
익명
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안녕하세요. 현재 패터닝에 대해 공부하고 있는 학생입니다.
PR없이 HMDS만을 이용해 패터닝하고자 합니다.
선행 논문들을 읽어보니 172nm 세기로 노광을 하면 HMDS에 패터닝이 되던데, 172nm 세기로 조사하는 장비를 알고 싶습니다.
어떤 장비를 사용하는지 알 수 있을까요?
- 반도체
- 노광
- 패터닝
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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