2023-07-27
org.kosen.entty.User@d4e3cb4
장효원(dkeldhtm159)
- 2
용액 공정시 연속 용액 공정이 가능한가요?
예를 들어 스핀코팅으로 전구체 용액을 증착한 후 어닐링을 거치고 다른 용액에 담궈 treatment를 진행하고자 하는데 이런 연속적인 용액 공정이 가능한가요?
- 연속으로 용액처리를 해도 되나요?
지식의 출발은 질문, 모든 지식의 완성은 답변!
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
답변 2
-
답변
장성재님의 답변
2023-07-28- 1
반도체 박막증착 시 스핀 코팅을 활용할 때 연속적인 용액 처리 공정이 가능한지 질문하신 거죠?
열처리 등으로 용매를 제거하고 다른 용액 등으로 연속적인 처리 공정이 가능하지 않을 까요?
-
답변
김주남님의 답변
2023-08-25- 0
연속 용액 공정은 당연히 가능합니다. 프리커서를 열처리까지 했다면 이미 박막이 되어 있는 상태이니, 그 위에 다른 용액을 도포해도 아무런 문제가 되지 않습니다. 다만, 열처리가 끝난 박막에 대해 그 후 오는 용액이 데미지를 주는지는 체크해봐야합니다.
예를 들어 폴리머의 경우, 열처리가 끝난 후에도 유기용매에 쉽게 녹으므로 산에 녹인 전구체의 경우는 괜찮으나, 다른 유기용매에 녹인 용액에 담구면 않됩니다.
세라믹의 경우 폴리머와 반대로 산에 약하므로 주의해야합니다.
이상입니다.