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안녕하세요, 광감성 고분자 주제에 대해 관심을 가지고 있는 연구자입니다.
19년도 일본의 수출 제한 조치에 따라 가속화되었던 국내외 EUV용 PR 재료의 현재 동향 및 기술 자료에 대해 찾고 있습니다. 선두를 달리고 있는 일본 기업포함 동진 세미켐등 국내외 업체들의 개발 동향과 상황을 살펴볼 수 있는 자료나 출처를 알고 계신다면 정보 공유를 요청드립니다. 현 정부가 강조하고 있는 반도체의 위상 강화 및 연구 역량 확보를 위해 필수적인 자료들일텐데 공유되는 자료의 질과 양이 현저히 적어 여러 연구자분들의 도움이 필요합니다.
- photoresist
- EUV
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변
김주남님의 답변
2023-09-26- 1
일본에서의 공개된 자료들입니다. 1번은 신청을 해야 받아볼 수 있는듯한데 중요한 레포트일 것 같습니다.
1. https://www.ssk21.co.jp/R0000103.php?gpage=02V1001
2 .chrome-extension://efaidnbmnnnibpcajpcglclefindmkaj/https://www.mitsui.com/mgssi/ja/report/detail/__icsFiles/afieldfile/2021/01/28/2101report.pdf
3. https://engineer-education.com/photoresist_semiconductor-microfabrication/
4.chrome-extension://efaidnbmnnnibpcajpcglclefindmkaj/https://www.jsr.co.jp/resource-files/pdf/ir/library/annual_csr_report/2022/02-3_2022_j.pdf
도움이 되길..
답변 감사합니다. 유료 자료 제외하고 참고할 만한 자료가 있어 도움이 되었습니다.