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SEM 가속전압에 따른 이미지 변화

주사전자현미경을 이용해서 시료를 분석하는 경우

일반적으로 10, 15KV  가속전압에서 분석를 합니다.


하지만, 요즘 추세는 표면을 더 잘 보기 위해,  금속 코팅없이 보기 위해


가속전압을 줄여 이미지를 관찰하는 경우가 있습니다.


일반적으로 이미지 변화가 크지 않아서 비슷한 이미지가 보이는 경우가 많습니다.


최근에 본 시료의 경우에는 이미지가 너무 달라서 


어떤 이유에서 그런지 궁금하네요.


일반적으로 엣지 효과를 이용하는데 이 경우는 다른것 같네요.


첨부된 파일은 15kV,  1kV  조건에서 150배, 1,000배 이미지 입니다.


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답변 1
  • 답변

    김주남님의 답변

    사진을 자세히 보시면 구멍 사이의 얇은 경계면이 1kV에서는 잘 나오지 않아서 서로 다른것 처럼 보이는 것 뿐입니다.

    1kV에서 중앙 밑의 낫 모양을 중심으로 서로 비교해보세요.

    이 시료의 경우 15kV에서는 충분한 2차전자들로 깨끗한 이미지를 얻은 것이지만,

    1kV에서는 구멍들 사이의 얇은 막에서 2차전자가 적게 나와 구멍의 큰 면적이 두각되어 있는 것 처럼 보이는 걸로 보입니다. 

    말씀하신대로 낮은 전압에서 관측을 하는 경우도 있지만 너무 낮추면 이리 되는거죠.


    사진을 자세히 보시면 구멍 사이의 얇은 경계면이 1kV에서는 잘 나오지 않아서 서로 다른것 처럼 보이는 것 뿐입니다.

    1kV에서 중앙 밑의 낫 모양을 중심으로 서로 비교해보세요.

    이 시료의 경우 15kV에서는 충분한 2차전자들로 깨끗한 이미지를 얻은 것이지만,

    1kV에서는 구멍들 사이의 얇은 막에서 2차전자가 적게 나와 구멍의 큰 면적이 두각되어 있는 것 처럼 보이는 걸로 보입니다. 

    말씀하신대로 낮은 전압에서 관측을 하는 경우도 있지만 너무 낮추면 이리 되는거죠.


    변성천(rg1000) 2023-12-26

    답변 감사합니다.