지식나눔

EDS 성분분석 자료 해석에 대해 질문드립니다.

안녕하세요.


첨부 사진은 SEM과 EDS를 통하여 분석한 결과입니다.


알고 싶은 내용이 있어 몇 가지 질문드립니다.


1. 라인 유형에서 K시리즈와 L시리즈의 차이점?


2. 무게 %와 무게 % 시그마, 원자 %의 차이점?


상세히 답변 부탁드립니다.


감사합니다.


  • EDS
  • 성분분석
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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    장세호님의 답변

    https://en.wikipedia.org/wiki/Energy-dispersive_X-ray_spectroscopy

    의 중간쯤 오비탈 그림을 참고하시면 도움이 될까요?

    wt%, at%에 대한 설명은 2019-12-09 이동진님의 답변을 참고하시면 이해되실 듯 합니다.

    https://en.wikipedia.org/wiki/Energy-dispersive_X-ray_spectroscopy

    의 중간쯤 오비탈 그림을 참고하시면 도움이 될까요?

    wt%, at%에 대한 설명은 2019-12-09 이동진님의 답변을 참고하시면 이해되실 듯 합니다.

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    김주남님의 답변

    장비 메뉴얼에 어느 정도 나와 있을텐데요...찾아보시구요.

    1. 오비탈이 KLMN이 있습니다. 어디에서 전자가 떨어져서 에너지가 나온지를 알려주는 겁니다.

    2. 무게%는 신동엽님의 답변을 긁어왔습니다.
    Weight percent (wt%)와 atomic percent (at%) 계산식을 혼동한 것 같은데요. 

    Ta과 C 원자만 있다면, 물질의 전체질량 W_total은

    W_total=(at% of Ta)*(atomic weight of Ta)+(at% of C)*(atomic weight of C) 로 표현되고, 

    Ta의 wt%는 아래와 같이 표현됩니다. 

    wt% of Ta = (at% of Ta)*(atomic weight of Ta)/W_total=0.96

    윗 식에 Ta과 C의 atomic weight 를 대입해서 계산해보면, 

    Ta과 C의 atomic percent를 계산할 수 있습니다. 

    그 값을 EDS 측정값과 비교해보면 그렇게 큰 차이를 느끼지 못할 것 같습니다. 


    그리고 무게%시그마 라는건 무게% 측정값의 표준오차를 기록한 겁니다. 

    장비 메뉴얼에 어느 정도 나와 있을텐데요...찾아보시구요.

    1. 오비탈이 KLMN이 있습니다. 어디에서 전자가 떨어져서 에너지가 나온지를 알려주는 겁니다.

    2. 무게%는 신동엽님의 답변을 긁어왔습니다.
    Weight percent (wt%)와 atomic percent (at%) 계산식을 혼동한 것 같은데요. 

    Ta과 C 원자만 있다면, 물질의 전체질량 W_total은

    W_total=(at% of Ta)*(atomic weight of Ta)+(at% of C)*(atomic weight of C) 로 표현되고, 

    Ta의 wt%는 아래와 같이 표현됩니다. 

    wt% of Ta = (at% of Ta)*(atomic weight of Ta)/W_total=0.96

    윗 식에 Ta과 C의 atomic weight 를 대입해서 계산해보면, 

    Ta과 C의 atomic percent를 계산할 수 있습니다. 

    그 값을 EDS 측정값과 비교해보면 그렇게 큰 차이를 느끼지 못할 것 같습니다. 


    그리고 무게%시그마 라는건 무게% 측정값의 표준오차를 기록한 겁니다. 

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