지식나눔

MSM 구조의 I-V curve 측정법에 관해 질문드립니다.

MSM 구조의 I-V curve 측정법에 관해 질문드립니다.
현재 저희 랩실에는 TFT 소자 측정하는 Probe station이 존재하고 3T transfer cureve, Output curve 측정 프로그램이 있습니다.
이를 활용해 MSM 구조 decive의 I-V curve를 측정하고자 하는데 어떻게 측정하는 것인지 측정법에 관해 질문드립니다.
  • 반도체
  • I-V
  • 측정
지식의 출발은 질문, 모든 지식의 완성은 답변! 
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
답변 2
  • 답변

    김주남님의 답변

    프로브스테이션과 뭔가 프로그램이 있는데... 3T transfer curve라는건 측정기기 이름인가요? 아니면 측정기기 이름을 알려주세요...
    프로브스테이션과 뭔가 프로그램이 있는데... 3T transfer curve라는건 측정기기 이름인가요? 아니면 측정기기 이름을 알려주세요...

    측정기기 이름은 4156A입니다

  • 채택

    김병관님의 답변

    소프트웨어에서 세밀하게 3 electrode 전압, 전류값을 설정가능할 것 같습니다.

    Output curve는 V_G (gate voltage)를 고정하고 V_DS를 변화주면서 I_DS를 측정하시면 되고

    Transfer curve는 V_DS를 고정하고 V_G를 변화주면서 I_DS를 측정하시면 됩니다.

    전압범위 등은 ref 참고해서 작은 값부터 점점 키워가시면 좋을 것 같네요.



    소프트웨어에서 세밀하게 3 electrode 전압, 전류값을 설정가능할 것 같습니다.

    Output curve는 V_G (gate voltage)를 고정하고 V_DS를 변화주면서 I_DS를 측정하시면 되고

    Transfer curve는 V_DS를 고정하고 V_G를 변화주면서 I_DS를 측정하시면 됩니다.

    전압범위 등은 ref 참고해서 작은 값부터 점점 키워가시면 좋을 것 같네요.



    도움 주셔서 감사합니다. 덕분에 참고해 실험 진행할 수 있을 것 같습니다.