- 1
현재 유전율측정 관련 실험을 진행하면서 다양한 측정 방법이 이해가 되질않아 질문드립니다.
현재 5~10 um의 박막 필름에 관해 유전율 측정하는 연구를 조사 중에 있습니다.
이때, 스핀코팅이든 잉크젯 프린팅을 통해 박막을 형성하게되는데 그 후 유전율을 측정하기 전 Al 혹은 Pt과 같은 금속을 증착한 뒤 유전율을 측정하는것을 알았습니다.
이때, 왜 금속 증착을 진행하는지와 금속 증착없이 필름의 유전율을 측정하는것에 차이가 있는지 궁금합니다.
알려주실수 있을까요
- 유전율
- 박막 필름
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
-
채택
김주남님의 답변
2024-03-22- 1
일단 박막을 다룬다고 하시니 박막 평가에 대해 일반적으로 이야기합시다. 벌크에서는 또 이야기가 달라집니다.
1.박막의 경우 표면의 러프니스가 크게 관여를 합니다. 예를들어 큰 전극을 위에 올리면 산의 정상 부분만 전극에 컨텍이 되어 안으로 들어가 있는 부분은 컨택이 되지 않아서 막 전체의 분극이 일어나지 않습니다. 벌크의 경우에는 그것을 무시하지만, 박막의 경우에는 그것을 무시할 수 없습니다. 따라서 전극을 표면에 입혀서 러프니스를 모두 상쇄시키는게 가장 큰 목적입니다.
2. 프로브를 보통 뾰족한 팁을 사용하게 되어 컨텍 면적도 적고, 컨트롤이 않되므로 컨텍 면적의 컨트롤의 목적도 있습니다. 면적을 알아야 유전율을 계산할 수 있으니깐요.
3. 폴리머와 같이 유연한 박막의 경우 큰 전극을 그대로 눌러버리면 압축력이 발생해서 정확한 유전율을 측정할 수 없습니다. 따라서 전극을 입히고 뾰족한 팁으로 살짝 올리는 느낌으로 측정을 해야하지요,.
이외에는 여러가지가 있지만 질문자님의 글에서는 이정도겠네요.