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현재 튜브형 전기로를 활용하여 Si/C 소재를 900도 정도에서 열처리하고자 합니다.
한가지 고민은 Ar gas 분위기로 열처리를 진행하고자 하는데
이에 따른 조건들을 알지 못해 함부로 시작하기가 어렵네요
1.열처리 중에도 Ar gas를 주입하며 진공 펌프를 작동시켜 순환시켜줘야할지
아니면 Ar gas 분위기를 만든 후 벨브를 잠궈 열처리를 해야할 지 궁금합니다.
2.튜브 내부 압력은 양압으로 유지해야하는지 음압으로 유지해야하는지 궁금합니다.
-생각으로는 가스를 주입하며 펌프를 작동하여 열처리로 인해 높아지는 압력을 제거해 줘야한다 생각되고
내부 압력은 진공 펌프 배출량에 비해 가스 주입량을 낮게 잡아서 음압으로 유지해야하지 않을까 라는 생각이 듭니다.
혹시 몰라 문의 드립니다.
-또한 연구실용 소형 튜브 전기로에 적합한 가스 유량을 제안해주시면 감사하겠습니다.
마지막으로 주의사항이 있다면 알려주시기 바랍니다.
감사합니다.
- 튜브
- 퍼니스
- Ar
- 전기로
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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김주남님의 답변
2024-04-17- 1
결국 조건은 하면서 조정하는게 될겁니다.
1. 로터리 펌프로 뽑지 않고, 배기 가스를 배기구에 직접 연결해도 됩니다. 즉 상압에서 이루어지는 것이죠. 여기서 산소 컨타미가 가장 신경 쓰이는 부분일텐데, 가스 배관을 얼마나 잘 만들었느냐에 따라 달라집니다. 그리고 잠그고 열처리 하는 것은 추천하지 않습니다.2. 상압으로 하시는게 실험상으로는 가장 컨트롤하기 편합니다.
3. 상압으로 하는대신 유량은 챔버크기에 따라 다르므로 뭐라 말하기 힘들지만, 충분히 기체가 머물지 않고 흘러가는 정도로 이건 직접해보셔야 합니다. 지름 5센티의 석영관에선느 1000 sccm정도 흘립니다.
그럼 고생하세요~
상세한 답변 감사합니다!!