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폴리이미드 베이스 미세유체관의 커버 제작 관련

안녕하세요

폴리이미드 기반 박막에 2마이크로 깊이 미세유체관을 제작하여 활용하고자 합니다.

해당 미세유체관은 반도체 공정을 통해 제작이 되었고, 열려있는 상태의 결과물을 뚜껑으로 덮어서 활용하고자 합니다.

깊이가 매우 작아 테이프와 같은 접착 필름으로는 부착이 어려운 상황이고, 플라즈마 공정이나 UV 공정 등을 활용하여 2um깊이가 왜곡되지 않도록 제작하여 완전 닫힌 상태를 만들고자 합니다.

(최종 결과물은 열려있는 입구와 출구가 있고, 그 사이에 막혀있는 2마이크로 관이 연결되는 형태)

PDMS와 같은 점착성을 갖는 물질을 활용하는 것이 일반적이나 young's modulus가 매우 낮아 관의 형태가 직사각형이 아닌 쳐짐이 발생하는 것으로 판단되어 딱딱하지만 폴리이미드에 부착이 가능한 물질을 찾고 있습니다.


관련하여 연구 사례나 경험이 있으시면 피드백 남겨 주시면 정말 감사드리겠습니다.


감사합니다. 

  • 폴리이미드
  • 미세유체
  • 플라즈마
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