2024-11-19
org.kosen.entty.User@1ea3c4e2
익명
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안녕하세요, FE-SEM 장비 사용 중 전처리를 위한 Coating 을 하게되는데요,
Coater 관련 장비사에서 해당 모델에는 별도에 가스가 필요하지 않다고합니다.
Pt 혹은 Au Coating 을 하게 될때, Ar gas 등을 주입하고, current를 흘려줘 일종의 플라즈마 상태에서 Target을 노출 시켜 코팅을 하는 것이 기본적인 원리로 알고 있는데, 가스가 없이도 코팅이 가능한 원리가 어떤 이유인지 고견을 여쭙니다.
- SEM
- Coating
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