지식나눔

SEM 시편 준비 중 Coating에 관한 질문

안녕하세요, FE-SEM 장비 사용 중 전처리를 위한 Coating 을 하게되는데요,


Coater 관련 장비사에서 해당 모델에는 별도에 가스가 필요하지 않다고합니다.


Pt 혹은 Au Coating 을 하게 될때, Ar gas 등을 주입하고, current를 흘려줘 일종의 플라즈마 상태에서 Target을 노출 시켜 코팅을 하는 것이 기본적인 원리로 알고 있는데, 가스가 없이도 코팅이 가능한 원리가 어떤 이유인지 고견을 여쭙니다.

  • SEM
  • Coating
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답변 1
  • 답변

    김기원님의 답변

    혹시 코팅 물질이 Os 인가요?

    Os를 예시로 들면 OsO4가 Ample 형태로 들어가 있습니다.  별도의 가스가 필요 없다는 건 그런 의미일 겁니다. 

    비슷한 방식으로 가능 한 물질 일 수도 있고요 

    코팅도 CVD 방식과 sputter 방식이 있으니 확인해보시면 좋을 것 같습니다. 

    혹시 코팅 물질이 Os 인가요?

    Os를 예시로 들면 OsO4가 Ample 형태로 들어가 있습니다.  별도의 가스가 필요 없다는 건 그런 의미일 겁니다. 

    비슷한 방식으로 가능 한 물질 일 수도 있고요 

    코팅도 CVD 방식과 sputter 방식이 있으니 확인해보시면 좋을 것 같습니다. 

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