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지식나눔

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TEL사의 건식 식각 장치 성능

2024-12-03 org.kosen.entty.User@62eb8aa5 이상호(RGB3)
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TEL (Tokyo Electron Limited)에서 만든 건식 식각 장치중 Tactras 플랫폼의 RLSA chamber를 사용하면 CD와 식각 깊이가 어느 정도까지 만들 수 있습니까? 정확한 문헌을 찾지 못 했습니다. 경험이 있으신 분이 대략적인 guide라도 주시면 큰 도움이 되겠습니다.
  • TEL
  • 식각
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