KOSEN 한인과학기술자네트워크

닫기

더 많은 혜택을 위해
로그인 하세요.

지식나눔

지식나눔

TEL사의 건식 식각 장치 성능

2024-12-03 org.kosen.entty.User@be0a806 이상호(RGB3)
  • 0
TEL (Tokyo Electron Limited)에서 만든 건식 식각 장치중 Tactras 플랫폼의 RLSA chamber를 사용하면 CD와 식각 깊이가 어느 정도까지 만들 수 있습니까? 정확한 문헌을 찾지 못 했습니다. 경험이 있으신 분이 대략적인 guide라도 주시면 큰 도움이 되겠습니다.
  • TEL
  • 식각
지식의 출발은 질문, 모든 지식의 완성은 답변! 
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
답변하기
답변 0
목록
목록