2025-03-31
org.kosen.entty.User@5b7d3078
이도헌(doheon0312)
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안녕하세요,
포토다이오드 쪽 공부하고 있는 대학원생입니다.
다름이 아니라, 고분자 물질(Poly-TPD)같은 경우 리소그래피를 어떻게 진행하는 지 궁금합니다.
Poly-TPD의 경우 용매가 클로로벤젠으로, etchant를 동일하게 가져가는 경우 에칭의 퀄리티가 떨어지는게 보이는데 다른 연구원분들의 경험이 궁금합니다.
KOSEN에서의 제 첫 글이 아둔한 질문으로 시작하게 되어 죄송할 따름입니다.
감사합니다.
포토다이오드 쪽 공부하고 있는 대학원생입니다.
다름이 아니라, 고분자 물질(Poly-TPD)같은 경우 리소그래피를 어떻게 진행하는 지 궁금합니다.
Poly-TPD의 경우 용매가 클로로벤젠으로, etchant를 동일하게 가져가는 경우 에칭의 퀄리티가 떨어지는게 보이는데 다른 연구원분들의 경험이 궁금합니다.
KOSEN에서의 제 첫 글이 아둔한 질문으로 시작하게 되어 죄송할 따름입니다.
감사합니다.
- 반도체
- 리소그래피
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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