2025-04-08
org.kosen.entty.User@770378dd
익명
- 0
이번에 HfO2 타겟을 새로 구매하여 RF 80W, 3mTorr, Ar:O2=20sccm:8sccm 으로 1시간 20분 증착을 진행하고 알파스텝을 이용하여 두께를 측정해보았더니 30nm 이었습니다.
예상한 두께와 많이 달라 왜 그런 것인지 알고 싶습니다.(증착률 알아보는 증착이었습니다)
대학원생 말씀으로는 erosion 영역이 생기지 않아서 라고 하는데 그러면 pre sputtering을 오래 해야하는지와 만약 그렇다면 어떤 조건으로 어느 정도를 하는 지를 알고 싶습니다.
- 타겟
- 스퍼터링
지식의 출발은 질문, 모든 지식의 완성은 답변!
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
답변 0