2006-09-14
org.kosen.entty.User@5cdfd26f
김희성(castle0921)
저희 연구실은 MEMS(Micro Electro Mechanical System)분야를 연구하고 있습니다.반도 체 기본 공정 기술을 이용하여 wafer 상에 3차원 구조를 만들어 RF, Bio, Sensor, Nano 분야에 응용하고 있습니다.이를 위해 다양한 식각 기술 과 도금 및 증착 기술을 연구하 고 있고, 반도체 공정 및 소자 시뮬레이션 TCAD나 MEMS 구조물 특성 파악을 위한 ANSYS 시뮬레이션 또한 병행하고 있습니다.
국가
대한민국
소속기관
경북대학교 (학교)
연락처
053-950-5519 http://eecs.knu.ac.kr/MEMSLab/index.htm
책임자
은 덕수 beast22@unitel.co.kr