NanoSEL.은 현재 차세대 고집적 회로를 위한 반도체 소자의 특성 및 반도체 제조공정과 이에 필요한 재료의 개발에 대하여 연구 하고 있다. 특히 2003년도 과학기술부에서 주관하는 ERC에 무수히 많은 경쟁연구소들을 제치고 당당히 ERC에 선정되어서 10년간 과학기술부로부터 연구지원을 약속 받게되었다. 선정된 ERC 연구부분 중에서 NanoSEL.은 O-PCB 구현을 위한 설계 제작에 관한 연구를 담당하고 있으며, 또한 시스템 IC 2010에서 주관하는 시스템 집적 반도체 기반기술 개발사업에서 50nm급 차세대 MOSFET 소자 요소 기술개발을 위해 최근 주목 받고 있는 HIgh-k 박막을 이용하여 식각시 발생하는 Plasma charging damage에 대하여 연구중에 있다. 현재 NanoSEL.에서는 MEMS분야의 연구에도 관심을 기울이고 있다. 특히 초소형 정밀 기계나 초소형 시스템을 위한 Optical-MEMS 제작하고 Tunable filter의 설계 및 구현과 Fiber와 Ball lens 그리고 Tunable filter의 Align에 대한 설계와 Simulation에 관하여 연구 중에 있다. 그리고 LCD에 관한 연구로는 Poly-Si TFTs내에 존재하는 Grain들의 개수 분포를 통하여 Grain size 분포를 알아내어 전기적 특성에 영향을 주는 Factor(mobility,Vth)의 통계분포로 나타내서 이를 SPICE를 통해 등가회로를 구현하여 Electrical property(I-V)를 이용한 결과 예측에 관한 연구를 수행하고 있다.
국가
대한민국
소속기관
인하대학교 (학교)
연락처
032-860-8782 http://mparc.inha.ac.kr/semi/home.htm
책임자
박세근 sgpark@inha.ac.kr
