MEMS란? (Micro Electro Mechanical System)
MEMS 기술은 이름 그 자체에서 알 수 있듯이 수백마이크론 단위의 크기를 가지면서, 전기, 전자적인 구동특성과 기계적 움직임 또는 성능을 갖춘 복잡한 시스템이라 할 수 있다. 실제 MEMS는 기계, 전기, 광학, 열, 화학, 생물학적인 기능 또는 이들의 복합적 기능을 갖는 소자들로 이루어진 초소형 시스템을 통칭한다.
이 기술은 잘 발달된 반도체 제조 공정 기술을 활용하여 소자의 크기와 단가, 소비전력을 획기적으로 낮출 수 있어 적은 제조경비로 동일 품질의 시스템을 대량 생산할 수 있는 경제적 이점을 가지고 있다.
MEMS 기술의 대표적 사례로는 방수스피커, 자동차 에어백 가속도 센서, 정밀유량제어용 압력센서, 홈씨어터 프로젝트용 마이크로 미러어레이, 잉크젯 프린터 헤드, 통신용 부품, 바이오센서, 랩온어칩, DNA칩 등이 있다.
당센터에서는 이런 다양한 분야의 기술들을 연구, 개발, 양산까지 할수 있는 시스템을 갖추고 산학연을 대상으로 서비스를 실시하고 있다.
국가
대한민국
소속기관
MEMS/NANO부품생산센터 (기타)
연락처
051-510-3946 http://www.memsnano.org
책임자
김경천 kckim@pusan.ac.kr
