2007-04-19
org.kosen.entty.User@1384fa4
박재현(saiken97)
표면 나노 공정 연구실은 2002년도에 만들어졌으며, 고체 표면의 화학적 개질 및 선택적 패터닝 기술을 이용한 다양한 나노선패터닝과 원자층 증착 기술을 활용한 초박막 성장 연구를 수행하였다. 특히, 대면적에 쉽게 나노선을 전이하거나 패터닝하여 다양한 용도의 전자 소자를 구현하는 연구를 수행해왔다. 이를 위해서 다양한 종류의 나노선과 고유전율의 절연 박막을 성장하였으며, 성장된 나노선을 정렬된 상태로 전이하거나, 정렬된 나노선을 성장하는 기술을 확보하였다. 나노선 성장과 전이에 필요한 기반 기술을 바탕으로 나노선 소자 어레이를 제작하고 전기적, 광학적 특성을 측정하여 나노선 소자 기술을 확보하였다. 최근들어 구부림과 늘임이 가능한 유연 소자 구현에 필요한 공정 기술을 확립하는 노력을 기울이고 있다.
#Nano material #Nano patterning #Nano device
국가
대한민국
소속기관
고려대학교 (학교)
연락처
02-3290-3303 http://surfnano.korea.ac.kr/main.php
책임자
하정숙 jeongsha@korea.ac.kr