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물리학

플라즈마 응용연구실

플라즈마 응용 연구실은 크게 플라즈마의 물리 현상에 대한 기저 연구와 플라즈마를 산업적으로 활용하는 연구를 수행한다. 본 연구실은 CCP(Capacitively Coupled Plasma), ICP(Inductively Coupled Plasma), HP(Helicon Plasma), ECR(Electron Cyclotron Resonance Plasma), DBD(Dielectric Barrier Discharge)등의 플라즈마원을 이용한 기초 연구로 플라즈마 이해의 깊이를 높이는 동시에 플라즈마 인자가 반도체 소자제조 공정 및 카본 나노 튜브 (CNT)의 제조 공정에 미치는 영향에 대한 연구등 플라즈마의 활동 영역을 넓히고 있다.

국가

대한민국

소속기관

서울대학교 (학교)

연락처

02-880-8971 http://pal.snu.ac.kr

책임자

김곤호 jms4@dreamwiz.com

소속회원 0