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전기전자

나노 시스템 연구실

3차원 Simulation tool을(SILVACO, SYNOPSYS) 이용하여 다음 세대에 사용될 SONOS, Nano-Crystal 등 다양한 메모리 소자의 개발, 특성 평가, 모델링 연구가 수행중이다. 설계된 소자는 표준 CMOS 공정을 적용하여 제작되며, 그 예로 세계 최초로 실용성 있는 고집적/고성능 Bulk FinFET 소자를 제작하여 발표하였으며, 그 외 다양한 3차원 소자 구조를 제안한바 있다. 3 차원 구조의 소자 또는 Planar 구조의 소자들을 개발함에 있어서, 제기 될 수 있는 reliability 문제들을 HCE (hot carrier effect), NBTI (Negative Bias Temperature Instability), DNBTI (Dynamic NBTI), low frequency noise 등의 기법을 통해 원인을 규명하여 그 해결 방안을 모색하며, 소자개발 방향을 제시한다. 세계 최초로 다양한 변수를 고려하여 Bulk FinFET의 문턱 전압 모델링을 수행하여 3차원 소자 시뮬레이션 결과와 비교하여 검증하였고, 이들 소자와 wire 소자에 대한 이동도 및 I-V특성을 모델링하였다. 또한, RF 대역에서, small size의 gate를 가지는 Nano-scale MOSFET소자들에 대한 효과적인 modeling을 3-D simulation과 측정 data를 기반으로 하여 수행하고 있다. 차세대 디스플레이로 주목받고 있는 투명디스플레이 및 플렉시블 디스플레이의 개개의 픽셀을 구동하는 단위 소자인 산화물 투명 박막 트랜지스터와 유기 박막 트랜지스터의 신뢰성과 안정성을 향상시키기 위한 소자 특성을 연구하고 있다.

국가

대한민국

소속기관

경북대학교 (학교)

연락처

책임자

이종호 jongho@ee.knu.ac.kr

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