반도체 제조시 웨이퍼 표면의 박막 식각ㆍ증착에 사용되는 플라즈마공정 모델링, 전산모사, 실험을 통한 공정분석ㆍ진단 및 최적화에 관하여 연구하고 있다. 플라즈마 챔버에서의 파티클 생성 및 거동분석과 함께 전기로 또는 화염을 이용한 나노입자 제조공정에 대한 연구도 진행하고 있으며, 열플라즈마를 이용한 나노분말 제조와 디스플레이 분야로의 응용에 대한 연구를 추진하고 있다.
국가
대한민국
소속기관
호서대학교 (학교)
연락처
041-540-5752 http://www.hoseochemistry.ac.kr/LISP.htm
책임자
김헌창 heonchan@hoseo.edu
