본 연구실에서는 재료 공학을 기반으로 하여 집적 회로에 사용되는 각종 박막재료 (실리콘 , GaAs 반도체 등)를 제조하는 단위공정을 개발하는 한편, 현재 쓰이는 각종 소자와 향후 개발 가능성이 큰 소자에 사용가능한 신물질에 대한 연구와 함께 이에 관련된 제조 공정 중에 나타날 수 있는 문제점을 예측하고 그 대처 방안을 강구하는 내용들을 연구하고 있다. 또한 미래에 사용이 기대되는 막질, 화합물 반도체 등의 제조 공정분야와 각종 고기능 박막 물질 특성에 관한 분야도 연구중이다.
국가
대한민국
소속기관
인하대학교 (학교)
연락처
032-860-7544 http://wingzero.mireene.com/icelab/
책임자
김현우 hwkim@inha.ac.kr