2012-09-03
org.kosen.entty.User@d42c731
정미(jmnano)
대기, 수질, 실내, 식품 등 측정용 환경 센서는 필요에 따라 MEMS 제작기술을 이용하여 기존의 반도체 공정뿐만 아니라 마이크로 사이즈의 기계적 구조물을 만드는 데 필요한 마이크로 머시닝 기술을 기반으로 센서의 고감도,초소형화·고성능화·고집적화를 저가격화를 실현을 목적으로 연구개발을 하고 있음., 특히, 메탈의 나노구조물을 제조하여 플라즈몬 특성을 이용한 고감도 센서 개발을 진행하고 있으며, 이들 구조물을 이용하여 센서의 성능을 개선하려는 연구가 진행하고 있음
