2013-06-07
org.kosen.entty.User@3ba85bdf
황윤영(yyhwang)
본 연구실은 초미세 반도체 공정에 사용되는 플라즈마 원 개발 및 진단, 플라즈마 가열 메커니즘 실험, 플라즈마 식각(etching) 메커니즘 실험, 대기압 플라즈마 발생 및 제어 실험, 플라즈마 디스플레이(PDP) 효율 향상 실험 등을 수행하고 있으며, 공정 모니터링 센서 (In-Situ Process Monitoring Sensors)를 개발하고, 반도체 공정장치와 차세대 플라즈마 소스를 개발에 대하여 연구하고 있습니다.
#플라즈마 진단 #반도체/디스플레이용 플라즈마 소스 #무선 전력전송
