초정밀시스템연구실은 초정밀 위치 결정과 운동오차 측정 및 보정 핵심기술을 연구하고 있습니다. 이를 바탕으로 에너지 및 디스플레이 광 효율 향상에 사용되는 기능성 미세패턴 제작기술, 고성능 반도체 제작을 위한 초박형 디바이스 패키지 기술을 개발합니다. 또한 휴대폰과 같은 고기능 소형제품 생산을 위한 초소형 부품 가공 조립기술, 기계 설계단계에서 정밀도를 예측하는 설계 시뮬레이션기술도 개발하고 있습니다.
초정밀 가공장비 및 공정기술
융복합 디바이스 제조장비 및 공정기술
생산장비 IT융합 및 설계 지능화기술
대면적 미세가공 시스템 기술
차세대 반도체 MCP 핵심기술
나노기반 초정밀/초미세 하이브리드 가공 시스템
기계장비 정밀도 시뮬레이션 플랫폼 기