레이저나노가공연구실은 레이저를 이용하여 수십 나노미터에서부터 수백 마이크로미터 크기의 매우 작고 정교한 마이크로 및 나노구조물의 제조, 가공, 합성, 열적·기계적·광학적 특성평가 및 물성치 예측에 관련한 새로운 기술개발 및 응용 연구를 수행하고 있다. 레이저 마이크로 및 나노가공 기술은 포토리소그라피, 실리콘 결정화, TFT-LCD 회로생성, 웨이퍼 다이싱, Solar cell 모듈, ITO 패터닝 등과 같은 반도체 분야, PCB, BGA등과 같은 전자소자 패키징, 바이오 소자 및 의료용 소자 제조, 탄소나노 입자 및 탄소나노 튜브와 같은 나노물질 제조, LED 기판, 마이크로 히트파이프와 같은 초소형 기계 및 열소자 제조 등에 응용되고 있으며, 본 연구실에서는 관련 연구에 대한 경험과 기술 및 최고의 연구환경을 구비하고 있다.
산업체 응용 뿐 아니라 레이저는 또한 LASIK수술로 잘 알려진 안과, 치과, 피부과, 암치료 등과 같은 의료분야에서 광범위하게 활용되고 있으며, 레이저 의료기술 개발 및 임상의료 분야에서의 응용 범위는 지속적으로 확대되고 있다. 본 연구실은 효과적인 레이저의료응용기술 개발을 위해 광주과학기술원 의료시스템학제전공에 참여하고 있고, 의과대학 및 한의과대학 임상의들과 공동연구를 통해 실제 치료에 사용할 수 있는 레이저시스템을 개발하고 있으며 피부과, 이비인후과, 한방치료 등을 대상으로 적용연구를 수행하고 있다. 레이저나노가공연구실의 대표적인 주요 연구분야는 아래와 같다.
- 마이크로기술 : 펨토초레이저 가공, 레이저 CVD, 레이저 에칭, 비정질실리콘의 레이저 결정화, 레이저 표면처리, 극초단레이저 어블레이션 모델링
- 나노기술 : 탄소나노튜브 및 자성탄소나노입자의 레이저 합성, 근접장 나노리소그라피, 탐침형 근접장 나노현미경에 의한 10나노급 이미징, 나노미터 정밀도 자동초점장치
- 의료시스템기술 : 피부과용 Long-pulse ND:YAG 레이저 설계 제작, 고출력레이저용 냉각기 설계 제작, 저출력레이저치료(LLLT)용 시스템 설계 및 패키징 기술, 한방치료용 레이저 침 시스템, 생체조직의 Monte Carlo 모델링, 생체조직 열 및 광물성치 측정