[연구분야]
플라즈마 응용 전반 연구 수행
• 기초연구
- DLC(Diamond-Like Carbon) 박막 구조와 조정 분석
- 주요합성 파라미터에 따른 박막의 합성 거동 및 구조변화
- DLC 코팅 제품의 물리적, 구조적, 기계적 특성 이해에 관한 연구
• 합성공정개발연구
- 새로운 개념의 합성 공정 개발 연구
- 대면적 양산화를 위한 시스템 개발 연구
• 응용연구
- DLC : 박막의 잔류응력 제어를 기반으로 한 접합력 증진기술 개발 연구
- 3차원 코팅기술 개발 연구
- 대용량 코팅기술 개발 연구
[시스템연구]
• 생산 인라인화를 위한 합성장치의 자동화 설계
• 시뮬레이션 모델링을 활용한 고효율의 플라즈마 소스 개발 연구
[개발기술]
- DLC (Diamond-Like Carbon)
- FCVA (Filtered Cathodic Vacuum Arc)
- 선형이온건 (Linear Ion Source)
- UBM Sputter (Unbalanced Magnetron Sputter)
플라즈마 응용 전반 연구 수행
• 기초연구
- DLC(Diamond-Like Carbon) 박막 구조와 조정 분석
- 주요합성 파라미터에 따른 박막의 합성 거동 및 구조변화
- DLC 코팅 제품의 물리적, 구조적, 기계적 특성 이해에 관한 연구
• 합성공정개발연구
- 새로운 개념의 합성 공정 개발 연구
- 대면적 양산화를 위한 시스템 개발 연구
• 응용연구
- DLC : 박막의 잔류응력 제어를 기반으로 한 접합력 증진기술 개발 연구
- 3차원 코팅기술 개발 연구
- 대용량 코팅기술 개발 연구
[시스템연구]
• 생산 인라인화를 위한 합성장치의 자동화 설계
• 시뮬레이션 모델링을 활용한 고효율의 플라즈마 소스 개발 연구
[개발기술]
- DLC (Diamond-Like Carbon)
- FCVA (Filtered Cathodic Vacuum Arc)
- 선형이온건 (Linear Ion Source)
- UBM Sputter (Unbalanced Magnetron Sputter)
#플라즈마 #합성공정 #박막
국가
대한민국
소속기관
(주)제이앤엘테크 (기업 및 산업체)
연락처
031-499-1005 http://www.jnltech.co.kr
책임자
여기호 hero3000@nate.com
