- 주요 연구분야
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·GaN, SiC, ZnO 등 광전자 박막 성장, 소재공정, 특성평가 연구
·ICP-RIE를 이용한 ZnO, GaN, Al2O3, SiC등 식각 특성평가
·나노 임프린터를 이용한 나노 패턴 형성 연구
·나노 구조 발광소자 제작 및 특성평가
대표적 연구성과-
· RIE를 이용한 2인치 InGaAsP 레이저 다이오드 제작 기술 개발
· 고품위 SiC/Si 박막 성장 및 특성평가 기술 개발
· 스퍼터를 이용한 2인치 ZnO 단결정 박막성장 및 특성평가
· ICP-MOCVD를 이용한 최초 ZnO 단결정 박막성장 및 특성 평가
국가
대한민국
소속기관
전남대학교 (학교)
연락처
062-530-1696 http://myweb.chonnam.ac.kr/~btlee/lee/lee_index.html
책임자
이병택 btlee@jnu.ac.kr