Nanotemplate 방식을 이용한 다양한 구조의 나노소자 제작과 함께 나노디바이스의 물성을 분석하는 연구를 진행하고 있습니다. 또한, 나노시스템에 적합한 Optical Beam Deflection 방식과 같은 광학적인 고감도 변위측정방법을 개발하고 있으며, 이러한 연구결과를 바탕으로 앞으로의 나노기술 분야에 응용할 수 있는 방법을 모색하고 있습니다.
주요연구내용
- Anodize Aluminium Oxide(AAO) 기판을 이용한 다양한 나노구조체 제작
- 나노미터 영역에서 일어나는 나노구조체의 물성 분석
- 나노소자의 광학적 변위 측정방법 개발 및 제작
- 나노소자의 동역학적, 물리학적 특성 분석 및 응용
주요장비
- Anodization Facility with Low Temperature Circulator
- Thermal Evaporator with in-situ Film Resistance Measurement Setup
- Optical Displacement Detection System with Quadrant Photodetector
- High Frequency Network Analyzer