연구(강의)분야
- 전기화학적 고순도 태양전지 실리콘 성장
- 광촉매를 통한 광전기화학적 수소생산
- 고체 전해질 상에서의 전기화학
- 태양전지, 연료전지, 이차전지
- 전기화학, 열 및 물질전달, 공학수학
연구개발과제
- Production of Thin Film Solar Grade Silicon by Electrodeposition from Silicon Dioxide (2011.02~2014.02), 미국 Dow Corning
- 저저항 interconnect 용 Cu, Ag 전해 도금 기술 개발 (2008.06~2010.03), 한국생산기술연구소(산업자원부-소재원천기술개발사업)
- 펄스 도금을 이용한 32 nm 급 trench filling 개발 (2008.06~2010.04), 한국과학재단 (나노원천기술개발)
- 3x급 다마신도금을 위한 구리씨앗층 연구 (2008.04~2010.03), 하이닉스반도체
- 32 nm 급 배선 공정을 위한 다마신 전해 도금 개발 (2007.06~2008.05), 삼성전자
- SiP (Systems in a package) 에서의 구리 배선 공정 (2006.11~2010.04), 동부하이텍 (산업자원부-반도체성장동력사업)
- Embedded capacitor 에서의 PCB 기판 표면 처리 (2006.08~2007.07), 삼성전기 (산업자원부-부품소재기술개발사업)
- 금속 무전해 / 전해 도금을 위한 전해액 개발 (2004.06~2005.05), LG화학
국가
대한민국
소속기관
금오공과대학교 (학교)
연락처
054-478-7691 http://che.kumoh.ac.kr/che/sub040203_detail.do
책임자
조성기 chosk@kumoh.ac.kr