본 연구실에서는 원자단위의 정밀제어가 가능한 원자층 증착법 (ALD; Atomic Layer Deposition) 과 Bottom-up/Top-down 하이브리드 나노공정을 이용한 스마트 기능성 나노소재와 나노구조체 설계 및 합성에 대한 연구 및 MEMS 공정을 통해 고성능 나노소자를 구현하기 위한 연구를 수행하고 있으며, ALD를 이용하여 인터페이스 소재의 인공적인 설계ㆍ합성을 통해 새로운 기능성을 구현하기 위한 연구도 진행하고 있습니다.
주요 연구 분야
- - 고성능 나노소자 구현을 위한 스마트 기능성 나노소재의 설계 및 합성기술
- - ALD를 이용한 인공인터페이스 설계 및 합성
- - 고정렬된 나노구조체 어레이 제작기술
수행중인 연구 과제
- - 하이브리드 인터페이스 기반 미래소재 (Global Frontier Project)
- - 고효율 CIGS 태양전지 개발을 위한 고신뢰성 ALD-ZnO 기반 buffer layer에
관한 연구 (SK innovation)
국가
대한민국
소속기관
부산대학교 (학교)
연락처
051-510-3775 http://sml.pusan.ac.kr/sml/index.do
책임자
권세훈 sehun@pusan.ac.kr