<form method="post" name="frm">
</form>
<마이크로전자재료연구실 연구분야>
1. MEMS 공정 및 센서 응용에 관한 연구
(MEMS Processing and its Application for Sensors)
MEMS(Micro Electro Mechanical System) 기술은 소형이면서 고성능을 발휘하는 시스템 또는 부품을 저비용, 대량으로 생산할 수 있는 초소형 정밀기계 제작 기술을 총칭하는 것으로서 응용범위가 전자, 통신, 자동차, 의료 및 바이오, 멀티미디어, 정보기기 등 광범위하다. 예를 들면, 반도체 공정기술을 기반으로 하는 마이크론(㎛)이나 ㎜크기의 초소형 정밀기계 제작기술, 마이크로 단위의 기계적 구조물(Mechanical Structure)과 전자회로가 집적화 되어 결합된 시스템, 실리콘이나 수정, 유리 등을 가공해 초고밀도 집적회로, 머리카락 절반 두께의 초소형 기어, 손톱 크기의 하드디스크 등 초 미세 기계구조 제작기술 등이 있다. 본 연구실에서는 이러한 MEMS 공정 기술, Si-미세가공기술(Si-micromachining)을 활용하여 (1) 각종 반도체식 가스센서(CO, NOx, SOx, NH3, HCHO, VOCs, etc.), 자동차 실내 공기질 제어 센서 개발에 관한 연구를 MEMS 구조체에 적용될 수 있는 감지물질 소재개발과 병행하여 진행하고 있고, (2) MEMS 공정과 CMOS 공정을 조합한 반도체 FET형 수소센서의 설계 제작에 관한 연구를 수행하고 있다. 또한, (3) MEMS/CMOS 공정기술을 응용하여 여러 가지 실리콘 마이크로 압력센서(pressure sensors) 설계 제작에 관한 연구를 수행하고 있다.
2. 광촉매 재료 개발 및 응용에 관한 연구
(Synthesis of Photocatalyst Materials and its Applications)
이산화티타늄(TiO2)은 자외선을 받으면 전자(electron)와 정공(hole)을 생성함으로서 강한 산화력을 지니게 되어 수중과 공기 중에 존재하는 각종 환경오염물질을 무해한 이산화탄소와 물 등으로 분해시키고, 각종 바이러스와 병균 등에 대해 살균력이 뛰어난 대표적인 광촉매 소재이다. 또한, 빛을 받아도 자신은 변화하지 않고 화학적으로 매우 안정하기 때문에 반영구적으로 사용할 수 있어서 각종 환경 정화 및 청정용 소재로서 활용될 수 있다. 실용화된 대표적인 예를 들면, 광촉매 코팅 내장 건축재 (벽지, 실내외 도장), 자가 세척 기능의 차량용 거울, 도로 시설물, 폐수처리용 필터, 공기청정기 필터 등이 있다. 본 연구실에서는 이러한 광촉매 소재에 관하여 각종 박막증착 방법(LPCVD, PECVD, ALD, Sol-gel process, etc.)을 응용하여 가시광원으로도 광반응이 크게 향상될 수 있는 새로운 광촉매 복합소재 제조공정과 광촉매 필터 제조기술을 개발하고, 이를 각종 공기청정기 등에 적용하기 위한 실용화 연구개발을 수행하고 있다.
3. 형광체 재료 개발 및 응용 연구
(Synthesis of Phosphor Materials and its Applications)
형광물질은 태양광 등의 빛에너지를 흡수한 후 이를 가시광선으로 환원하여 어두운 곳에서 발광하는 특성을 가진 축광성 재료이며, 야광표시판, 형광램프, TV 브라운관, Color CRT, 형광도료, FED, PDP, EL display 등 각종 디스플레이 소재로서 널리 사용되고 있다. 본 연구실에서는 잔광 특성이 뛰어난 축광성 형광물질 합성과 그의 응용, 발광 및 잔광특성에 관하여 연구하고 있다.
1. MEMS 공정 및 센서 응용에 관한 연구
(MEMS Processing and its Application for Sensors)
MEMS(Micro Electro Mechanical System) 기술은 소형이면서 고성능을 발휘하는 시스템 또는 부품을 저비용, 대량으로 생산할 수 있는 초소형 정밀기계 제작 기술을 총칭하는 것으로서 응용범위가 전자, 통신, 자동차, 의료 및 바이오, 멀티미디어, 정보기기 등 광범위하다. 예를 들면, 반도체 공정기술을 기반으로 하는 마이크론(㎛)이나 ㎜크기의 초소형 정밀기계 제작기술, 마이크로 단위의 기계적 구조물(Mechanical Structure)과 전자회로가 집적화 되어 결합된 시스템, 실리콘이나 수정, 유리 등을 가공해 초고밀도 집적회로, 머리카락 절반 두께의 초소형 기어, 손톱 크기의 하드디스크 등 초 미세 기계구조 제작기술 등이 있다. 본 연구실에서는 이러한 MEMS 공정 기술, Si-미세가공기술(Si-micromachining)을 활용하여 (1) 각종 반도체식 가스센서(CO, NOx, SOx, NH3, HCHO, VOCs, etc.), 자동차 실내 공기질 제어 센서 개발에 관한 연구를 MEMS 구조체에 적용될 수 있는 감지물질 소재개발과 병행하여 진행하고 있고, (2) MEMS 공정과 CMOS 공정을 조합한 반도체 FET형 수소센서의 설계 제작에 관한 연구를 수행하고 있다. 또한, (3) MEMS/CMOS 공정기술을 응용하여 여러 가지 실리콘 마이크로 압력센서(pressure sensors) 설계 제작에 관한 연구를 수행하고 있다.
2. 광촉매 재료 개발 및 응용에 관한 연구
(Synthesis of Photocatalyst Materials and its Applications)
이산화티타늄(TiO2)은 자외선을 받으면 전자(electron)와 정공(hole)을 생성함으로서 강한 산화력을 지니게 되어 수중과 공기 중에 존재하는 각종 환경오염물질을 무해한 이산화탄소와 물 등으로 분해시키고, 각종 바이러스와 병균 등에 대해 살균력이 뛰어난 대표적인 광촉매 소재이다. 또한, 빛을 받아도 자신은 변화하지 않고 화학적으로 매우 안정하기 때문에 반영구적으로 사용할 수 있어서 각종 환경 정화 및 청정용 소재로서 활용될 수 있다. 실용화된 대표적인 예를 들면, 광촉매 코팅 내장 건축재 (벽지, 실내외 도장), 자가 세척 기능의 차량용 거울, 도로 시설물, 폐수처리용 필터, 공기청정기 필터 등이 있다. 본 연구실에서는 이러한 광촉매 소재에 관하여 각종 박막증착 방법(LPCVD, PECVD, ALD, Sol-gel process, etc.)을 응용하여 가시광원으로도 광반응이 크게 향상될 수 있는 새로운 광촉매 복합소재 제조공정과 광촉매 필터 제조기술을 개발하고, 이를 각종 공기청정기 등에 적용하기 위한 실용화 연구개발을 수행하고 있다.
3. 형광체 재료 개발 및 응용 연구
(Synthesis of Phosphor Materials and its Applications)
형광물질은 태양광 등의 빛에너지를 흡수한 후 이를 가시광선으로 환원하여 어두운 곳에서 발광하는 특성을 가진 축광성 재료이며, 야광표시판, 형광램프, TV 브라운관, Color CRT, 형광도료, FED, PDP, EL display 등 각종 디스플레이 소재로서 널리 사용되고 있다. 본 연구실에서는 잔광 특성이 뛰어난 축광성 형광물질 합성과 그의 응용, 발광 및 잔광특성에 관하여 연구하고 있다.