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그동안 보았던 리뷰논문들보다 정확성면에서 탁월한 논문입니다. 감사 드립니다.
아쉬운 점은 구리 (100)의 dangling bond가 4개여서 3개인 (111)보다 탄소를 고정시키는 힘이 강하고 소성가공된 구리는 고온에서 (100)으로 되려는 경향이 강하기 때문에 (100)에 대한 실험결과들이 인용되는 것이 실제와 가깝지 않을까요?
수소가 미치는 영향이 중요한데 합성 공정압에서 수소분압에 대한 언급만 있는 것도 아쉬운 점입니다.
구리와 산소 또는 습기의 반응을 연구한 논문들에서 본 기억으로는 산화막과 챔버 내에 흡착된 습기가 어닐링 과정에서 산소소스로 작용하여 CuOH를 만들고 이들이 CuH로 환원되는 것과 어닐링 중에 Cu와 수소가 반응하여 CuH를 만들고 이들이 메탄과 다시 반응하여 탈수소화 과정으로 진행되는 순서가 LPCVD에서 석영관 내에 구리가 증착되는 원인도 설명되고 메탄의 초기 분해를 열역학적으로 설명할 수 있는 것 같습니다.
좋은 논문 보게되어 기쁘고 감사 했습니다.