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Fluorine과 Argon 혼합기체입니다. 혼합비율은 공정에 따라 다르구요, Fluorine이 과다할 경우 TiC 부분이 더 많이 식각됩니다.
요즘엔 RIE 를 안쓰고 전부 ion milling으로 가공하는 곳도 있습니다. 이렇게 하면 시간은 오래걸리지만 처리된 기판의 품질은 더 놓습니다.