동향

마이크로히터 내장형 센서 기술 [기술이전설명회 발표자료]

분야

정보/통신

발행기관

한국전자통신연구원

발행일

2016-12-06

URL


반도체 공정 기술 기반의 고온 동작 저전력 구동의 마이크로 히터 제작 기술 및 이러한 히터 기반의 MEMS형 NO2 가스 센서 기술

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