동향

고온발열 메탄센서용 마이크로히터 전극제작 기술 [기술이전설명회 발표자료]

분야

기계,전기/전자

발행기관

정보통신기획평가원

발행일

2022.05.11

URL


- 도시가스 시설의 가스누출 및 사고를 미연에 방지하기 위해서는 도시가스의 주성분인 메탄가스를 주기적으로 감지할 수 있는 자동화된 감지시스템의 적용이 요구됨
- 자동 감지시스템 구현을 위해서는 저전력 소모 특성이 확보된 MEMS 기반의 센서 개발이 필요하며, 메탄 감지물질 특성 상, 450도 이상의 고온 발열이 가능한 MEMS 히터 전극 기술이 요구됨
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