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동향

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(2022-GT-SV-005)글로벌산업기술시장동향_공정대체가스 공정 및 배출제어 적용 플라즈마 기술

2023-03-14 org.kosen.entty.User@9bc3860 코센2021(kosen2021)

분야

정보/통신

발행기관

정보통신기획평가원

발행일

2022-05-31

URL

https://www.gtonline.or.kr/kor/gtbase/all/data/policy/dataView.do?cPage=1&sch_area_cd=&sch_nat_cd=&sch_tech_first_cd=&sch_gt_base_sid=&searchClass=policy&searchClass=policy&data_sid=238544

첨부파일

플라즈마를 이용하여 새로운 대체가스공정 또는 저감기술 개발 시 안정적인 플라즈마 발생과 이후 화학종 생성 과정을 자세히 이해하는 것이 공정개발 및 최적화의 첫 단계라고 말할 수 있겠다. 이에 본 보고서에서는 대체가스공정 및 배출제어에 적용되고 있는 플라즈마 기술에 대해 살펴보고, 당면해 있는 기술적 과제를 해결하기 위해 진행 중인 연구개발 기법에 대해 의논하고자 한다. 특히 고효율 고이온화율 플라즈마 발생제어기술, 실공정 적용을 위한 플라즈마 측정 및 모델링 연구에 초점을 맞추어 살펴보았다.
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한국과학기술정보연구원

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