2021-12-06
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김가현(wam05199)
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비정질 실리콘 (Hydrogenated amorphous silicon, a-Si:H)은 대표적인 박막 실리콘 재료로써 디스플레이 및 태양전지 소자를 구현하는 핵심 소재이다. 비정질 실리콘은 무질서한 원자구조로 인해 결정질 실리콘과는 전기적, 광학적으로 다른 특성을 보인다. 따라서 비정질 실리콘의 전기적, 광학적 물성을 정밀하게 분석하는 기법이 매우 중요하다. 본 레포트에서는 비정질 실리콘의 물성분석법에 대한 연구를 다룬다.