반도체 및 초정밀 기계시스템 계측 장비 기술
2022-11-09
org.kosen.entty.User@69462e61
이차범(cblee)
+ 연사소개 : 이차범 (Texas A&M University)
정밀 기계설계 및 반도체 계측장비 개발에 관한 연구를 수행하고 있고, 세부적으로는, 변위 센서, 3차원 이미징 시스템, 실시간 기상계측기 등등의 측정기기 요소기술을 가지고 있으며, 다수의 논문 및 특허를 보유하고 있다.
+ 발표 제목 : 반도체 및 초정밀 기계시스템 계측 장비 기술(Metrology and Inspection for Semiconductor Manufacturing)
+ 발표 내용 +
이차범 박사는 텍사스 A&M 대학 기계공학과에 조교수로 2006년 중앙대학교 공학 학사, 2008년과 2012년 광주과학기술원에서 석사와 박사를 취득하였다. 2018년에 텍사스 A&M 대학에서 업무를 시작하기 앞서, 테네시공과대학교 기계공학과에서 3년간 (2015-2018) 조교수로 연구를 수행하였다. 이차범 박사는 현재 초정밀 기계시스템과 반도체 장비의 요소기술인 계측 장비 기술 개발 연구를 수행하고 있다. 생산 제조시스템 효율을 향상시키기 위해 기상 계측기 및 실시간 측정기를 개발하여, 생산장비와 계측장비를 통합하는 것을 연구 목표로 하고 있다.
정밀 기계설계 및 반도체 계측장비 개발에 관한 연구를 수행하고 있고, 세부적으로는, 변위 센서, 3차원 이미징 시스템, 실시간 기상계측기 등등의 측정기기 요소기술을 가지고 있으며, 다수의 논문 및 특허를 보유하고 있다.
+ 발표 제목 : 반도체 및 초정밀 기계시스템 계측 장비 기술(Metrology and Inspection for Semiconductor Manufacturing)
+ 발표 내용 +
이차범 박사는 텍사스 A&M 대학 기계공학과에 조교수로 2006년 중앙대학교 공학 학사, 2008년과 2012년 광주과학기술원에서 석사와 박사를 취득하였다. 2018년에 텍사스 A&M 대학에서 업무를 시작하기 앞서, 테네시공과대학교 기계공학과에서 3년간 (2015-2018) 조교수로 연구를 수행하였다. 이차범 박사는 현재 초정밀 기계시스템과 반도체 장비의 요소기술인 계측 장비 기술 개발 연구를 수행하고 있다. 생산 제조시스템 효율을 향상시키기 위해 기상 계측기 및 실시간 측정기를 개발하여, 생산장비와 계측장비를 통합하는 것을 연구 목표로 하고 있다.
