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지식나눔

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Dysprosium(Dy) eatching 용액

2004-07-26 org.kosen.entty.User@22bab86d 이역규(themis1)
  • 1
Terfenol-D(Tb0.27Dy0.73)Fe2 를 Target으로 Silicon wafer에 sputtering으로 thin film을 하였습니다. 정확한 두께를 측정하기 위해 eatching을 하고 싶은데...질산이나 왕수를 이용하여 해 본 결과....막이 하나 남는게 보입니다..예상으로는 Dysprosium(Dy)이라고 생각이 되는데...이 Dysprosium(Dy)의 eatching 용액을 알고 싶습니다 참고로 Dysprosium(Dy)은 희토류 원소로 원자번호는 66번입니다.
  • Dysprosium
  • eatching
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답변 1
  • 답변

    이민익님의 답변

    2004-07-26
    • 0
    일반적으로 Dy는 Mineral Acid에 용해가 잘됩니다. Mineral Acid 를 이용한다면 원하시는 목적을 달성하실수 있을겁니다. 도움이 되셨으면 > Terfenol-D(Tb0.27Dy0.73)Fe2 를 Target으로 Silicon wafer에 sputtering으로 thin film을 하였습니다. > 정확한 두께를 측정하기 위해 eatching을 하고 싶은데...질산이나 왕수를 이용하여 해 본 결과....막이 하나 남는게 보입니다..예상으로는 Dysprosium(Dy)이라고 생각이 되는데...이 Dysprosium(Dy)의 eatching 용액을 알고 싶습니다 > > 참고로 Dysprosium(Dy)은 희토류 원소로 원자번호는 66번입니다.
    답변수정
    일반적으로 Dy는 Mineral Acid에 용해가 잘됩니다. Mineral Acid 를 이용한다면 원하시는 목적을 달성하실수 있을겁니다. 도움이 되셨으면 > Terfenol-D(Tb0.27Dy0.73)Fe2 를 Target으로 Silicon wafer에 sputtering으로 thin film을 하였습니다. > 정확한 두께를 측정하기 위해 eatching을 하고 싶은데...질산이나 왕수를 이용하여 해 본 결과....막이 하나 남는게 보입니다..예상으로는 Dysprosium(Dy)이라고 생각이 되는데...이 Dysprosium(Dy)의 eatching 용액을 알고 싶습니다 > > 참고로 Dysprosium(Dy)은 희토류 원소로 원자번호는 66번입니다.
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