2004-09-22
org.kosen.entty.User@41da90aa
우경근(dipblue7)
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스퍼터링으로 위 메탈을 유리에 입혔을때(대략 t=~1000A미만)
색깔이 어떻게 되는지 알려주시면 감사하겠습니다.
- thin film
- sputtering
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 5
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답변
윤승욱님의 답변
2004-09-23- 0
>스퍼터링으로 위 메탈을 유리에 입혔을때(대략 t=~1000A미만) >색깔이 어떻게 되는지 알려주시면 감사하겠습니다. > 저는 스퍼터링으로 Ti를 500A나 1000A 정도 입히는데, 기판은 실리콘이나 pyrex glass를 씁니다. 실리콘위에 oxide나 nitride 올리거나 두께에 관계없이 silver colour입니다. 다른 색변화는 없는데요... 대답이 되었으면 좋겠네요. -
답변
정옥찬님의 답변
2004-09-24- 0
>스퍼터링으로 위 메탈을 유리에 입혔을때(대략 t=~1000A미만) >색깔이 어떻게 되는지 알려주시면 감사하겠습니다. > 방금 다시 예전 sample을 보니까.. 알루미늄하고 같은 색이라고 말할수 있겠습니다. 은색? 거울이라고 생각하시면 되겠습니다. 그리고 두께에 따른 변화는 무시해도 될듯합니다. -
답변
우경근님의 답변
2004-09-24- 0
>>스퍼터링으로 위 메탈을 유리에 입혔을때(대략 t=~1000A미만) >>색깔이 어떻게 되는지 알려주시면 감사하겠습니다. >> > >저는 스퍼터링으로 Ti를 500A나 1000A 정도 입히는데, 기판은 실리콘이나 pyrex glass를 씁니다. 실리콘위에 oxide나 nitride 올리거나 두께에 관계없이 silver colour입니다. 다른 색변화는 없는데요... 대답이 되었으면 좋겠네요. ---- 답변 감사합니다. 제가 입혔을때 색깔이 검은색이 나왔거든요. Ar만으로 증착했으니 메탈색이 안나온게 이상해서 박막으로 입혔을때 차이가 있을거란 생각을 했는데... 답변을 보니 제가 쓰는 chamber가 문제 있는거 같군요. 타겟색깔은 메탈빛이 나오는데 서브는 이상하게 검은색이 나오니... 다시한번 답변 감사드립니다. -
답변
우경근님의 답변
2004-09-24- 0
도움 주셔서 감사합니다. -
답변
정옥찬님의 답변
2004-09-24- 0
>스퍼터링으로 위 메탈을 유리에 입혔을때(대략 t=~1000A미만) >색깔이 어떻게 되는지 알려주시면 감사하겠습니다. > 내용은 잘 모르겟으나... 제 컴퓨터에 있어서요..Ti에 관한 것입니다. 제가 실험시 유심히 관찰을 하지 않아서 ...죄송!! 참고하시기 바랍니다.