2004-10-20
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정용철(taekwonv)
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고분자 필름 표면의 단차를 측정할 수 있는 장비를 알고 싶습니다.
측정 범위는 클 수록 좋겠지만 대략 1*1mm 정도만 되어도 괜찮습니다.
단차의 스케일은 수마이크로미터 입니다.
또한 측정하고자 하는 고분자는 sticky하지는 않지만 soft합니다.
제가 시도해본 것은 알파스텝과 AFM인데요.
알파스텝은 고분자의 딱딱함(?)에 따라 가능한 것이 불가능한 것이 있어 일정한 데이타를 얻기가 힘들었습니다.
또한 AFM은 스캔하는 범위의 스케일이 10um 이내여서 불가능 했습니다.
혹시 가능한 측정장비를 아시는 분의 많은 조언 부탁드립니다.
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 5
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답변
정옥찬님의 답변
2004-10-22- 0
Keyence 같은 회사의 비접촉식 3차원 레이져 측정 장비를 권합니다. 제 경우에는 PDMS하고 SU8도 측정을 하고 있습니다. 제 생각에는 알파스텝으로는 불가능할 것입니다. 단차가 급할 경우에는 알파스텝 팁이 튕기는 현상이 보일것입니다. >고분자 필름 표면의 단차를 측정할 수 있는 장비를 알고 싶습니다. >측정 범위는 클 수록 좋겠지만 대략 1*1mm 정도만 되어도 괜찮습니다. >단차의 스케일은 수마이크로미터 입니다. >또한 측정하고자 하는 고분자는 sticky하지는 않지만 soft합니다. >제가 시도해본 것은 알파스텝과 AFM인데요. >알파스텝은 고분자의 딱딱함(?)에 따라 가능한 것이 불가능한 것이 있어 일정한 데이타를 얻기가 힘들었습니다. >또한 AFM은 스캔하는 범위의 스케일이 10um 이내여서 불가능 했습니다. >혹시 가능한 측정장비를 아시는 분의 많은 조언 부탁드립니다. -
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정용철님의 답변
2004-10-24- 0
>Keyence 같은 회사의 비접촉식 3차원 레이져 측정 장비를 권합니다. >제 경우에는 PDMS하고 SU8도 측정을 하고 있습니다. > >제 생각에는 알파스텝으로는 불가능할 것입니다. >단차가 급할 경우에는 알파스텝 팁이 튕기는 현상이 보일것입니다. 답변 감사드립니다. 그런데 말씀하신 장비가 국내에 있는 지 알 수가 없군요. -
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정옥찬님의 답변
2004-10-25- 0
제가 학생시절에도 팜플펫으로 하는 광고도 본적이 있었구요.. 흠..지금 여기 실험실에 있는데...흠...!! 서울대나 성대나...뭐 여러 학교에 혹은 실험실에 있을 것 같기도 하구요. 방금 찾아보니, 한국 대리점은 http://www.ikeyence.com/product/190066.asp 입니다. 잘 말씀드려서 꽁짜로 측정해보시는 것도..^^;; >>Keyence 같은 회사의 비접촉식 3차원 레이져 측정 장비를 권합니다. >>제 경우에는 PDMS하고 SU8도 측정을 하고 있습니다. >> >>제 생각에는 알파스텝으로는 불가능할 것입니다. >>단차가 급할 경우에는 알파스텝 팁이 튕기는 현상이 보일것입니다. > > >답변 감사드립니다. > >그런데 말씀하신 장비가 국내에 있는 지 알 수가 없군요. > > -
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이봉완님의 답변
2004-10-28- 0
비접촉 광학방법을 이용한 것이어야 하겠군요. 위 답변처럼 Keyence 제품을 confocal 방법 또는 삼각법을 이용한 것입니다. 나름대로 편리한 점이 장점일 것입니다. 분해능/정밀도는 0.01um가 최고일 것입니다. 보다 정밀한 방법으로는 간섭계를 이용한 것입니다. 소위 Phase Shift Interferometer 또는 Whitelight Scanning Interferometer를 이용하면 됩니다. 전자의 분해능이 1nm 이내이지만 단자가 수um일 경우는 특수 옵션(다파장 레이저)이 있어야 가능할 것이고, 후자의 경우는 단차가 수십 um 이상 적용가능합니다. 저희 연구실에 후자의 방법과 유사한 방법을 이용하여 개발된 기계가 있습니다. 분해능은 1nm 정도인데, 사용하고 있는 시료이송 스테이지의 사양때문에 수십nm의 오차는 있을 수 있습니다. 이용하시고자 하시면 연락주십시요. 042-860-0251 >고분자 필름 표면의 단차를 측정할 수 있는 장비를 알고 싶습니다. > >측정 범위는 클 수록 좋겠지만 대략 1*1mm 정도만 되어도 괜찮습니다. > >단차의 스케일은 수마이크로미터 입니다. > >또한 측정하고자 하는 고분자는 sticky하지는 않지만 soft합니다. > >제가 시도해본 것은 알파스텝과 AFM인데요. > >알파스텝은 고분자의 딱딱함(?)에 따라 가능한 것이 불가능한 것이 있어 일정한 데이타를 얻기가 힘들었습니다. > >또한 AFM은 스캔하는 범위의 스케일이 10um 이내여서 불가능 했습니다. > >혹시 가능한 측정장비를 아시는 분의 많은 조언 부탁드립니다. -
답변
윤재영님의 답변
2004-12-22- 0
답변이 늦었습니다. mmst.kaist.ac.kr 로 문의하시면 측정 가능합니다.