2004-11-01
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임용환(nike816)
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TCO thin film을 공부하는 대학원생입니다.
ZnO 박막이 플라스틱 필름위에 저온증착(<150)되었으나 XRD 분석에서
결정성을 보이지 않는 이유는 온도,기판,전처리등 여러 parameter중
무엇과 관련이 있는지 궁금합니다.
- ZnO
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답변 2
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답변
남태성님의 답변
2004-11-08- 0
비슷한 분야를 하는 관계로 몇자 적어 봅니다. XRD를 통해서 결정성 아마도.. Hexagonal 구조를 확인했어야 한다고 보이는데 이는 기판온도 혹은 열처리 온도가 가장 클 가능성이 큽니다. 플렉시블 디스플레이등을 하시는 것 같은데 같은 조건상에서 유리기판에서 해 보신후 상호 비교검토하는 것도 좋을 듯 합니다. 게다가, XRD 측정시 2theta 범위를 좁게 잡지 마시고 최대한 크게 즉, 장비가 좋다면 아주 작은 각도에서 부터 허용되는 최대한 측정하고, 측정속도나 기타 조건는 되도록이면 작게 해서 증착한 박막의 완전한 XRD data 레퍼런스를 갖는 것도 보다 정확하게 분석하는데 도움이 되리라 생각합니다. 한가지 노파심에서 말씀 드리면, XRD 측정시 X-ray source가 뭐야에 따라서 앞서 말한 2theta 범위를 조절해야 합니다. 일반적으로 Cu(= 1.54xx nm)이지만 때로는 Cr을 사용할 경우 파장이 커져서 측정 범위대를 넓혀야 하는 상황이 생기는데 이를 인지하지 못하고 Cu의 경우 측정 범위대를 잡으면 결정성이 나타나지 않을 수 있습니다. 한번 확인해 보십시오. >TCO thin film을 공부하는 대학원생입니다. >ZnO 박막이 플라스틱 필름위에 저온증착(<150)되었으나 XRD 분석에서 >결정성을 보이지 않는 이유는 온도,기판,전처리등 여러 parameter중 >무엇과 관련이 있는지 궁금합니다. -
답변
이호철님의 답변
2004-11-22- 0
ZnO와 완벽하게 일치하는지는 모르겠지만 ITO on glass 관련하여 연구 경험이 있기에... 사견을 짧게 첨부하도록 하겠습니다. 결정성과 가장 관련이 있는건 아무래도 공정온도겠지요.. ITO도 150oC이상은 되어야..XRD 피크가 미세하게 보이기 시작하니까요.. 그리고 미세한 피크라도 좀 더 확실히 보기 위해서는 온도만큼이나 중요한 것이 막두께라고 생각이 되네요.. 일반적인 TCO의 막두께(실제 디스플레이 공정상)는 150nm 혹은 320nm수준입니다. 그 정도 올려보시면 조금이나마 도움이 될것 같네요~~ 감사합니다. . >>ZnO 박막이 플라스틱 필름위에 저온증착(<150)되었으나 XRD 분석에서 >>결정성을 보이지 않는 이유는 온도,기판,전처리등 여러 parameter중 >>무엇과 관련이 있는지 궁금합니다.