2004-12-16
org.kosen.entty.User@d7732f1
김기현(arche)
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사파이어 기판위에 Ti을 스퍼터링으로 0.1 마이크론 정도 올려 패터닝되어 있는데 이를 제거 해야만 합니다. 혹시 wet etching으로 제거 할 수 있는 방법을 알려주셨으면 합니다....
물론 Ti제거시 사파이어 기판에 영향이 없어야 합니다.
급합니다...아시는 분 부탁드립니다...
아니면 RIE방법이라도 알려주셨으면 합니다...
감사합니다...
- Ti
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 2
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답변
이세환님의 답변
2004-12-24- 0
도움이 될 자료를 첨부합니다. 관련된 내용을 추적하여 해결하시면 방법이 보일 듯 합니다. 도움되시길.. >사파이어 기판위에 Ti을 스퍼터링으로 0.1 마이크론 정도 올려 패터닝되어 있는데 이를 제거 해야만 합니다. 혹시 wet etching으로 제거 할 수 있는 방법을 알려주셨으면 합니다.... >물론 Ti제거시 사파이어 기판에 영향이 없어야 합니다. >급합니다...아시는 분 부탁드립니다... >아니면 RIE방법이라도 알려주셨으면 합니다... >감사합니다... -
답변
이종성님의 답변
2004-12-24- 0
잘은 모르지만 KOH같은 강알카리를 사용하시면 제거가 되더군요 >도움이 될 자료를 첨부합니다. >관련된 내용을 추적하여 해결하시면 방법이 보일 듯 합니다. >도움되시길.. > > > >>사파이어 기판위에 Ti을 스퍼터링으로 0.1 마이크론 정도 올려 패터닝되어 있는데 이를 제거 해야만 합니다. 혹시 wet etching으로 제거 할 수 있는 방법을 알려주셨으면 합니다.... >>물론 Ti제거시 사파이어 기판에 영향이 없어야 합니다. >>급합니다...아시는 분 부탁드립니다... >>아니면 RIE방법이라도 알려주셨으면 합니다... >>감사합니다...