2004-12-27
org.kosen.entty.User@72ad5e1a
이호철(clubcc)
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보통 ITO라고 하면 In2O3와 SnO2를 섞어서 타겟으로
만든후 스퍼터링으로 기판에 올리는 것으로 알고 있습니다.
일반적인 고온스퍼터링으로 만든 ITO의 비저항이
150~200 마이크로옴*cm 로 알고 있습니다.
그렇다면 In2O3만을 타겟으로 만들어서
혹은 SnO2만을 타겟으로 만들어서
스퍼터링하면 비저항이 얼마나 나오나요?
순수한 In2O3막도 전기를 통하나요?
순수한 SnO2막자체도 전기를 통하나요?
- SnO2
- In2O3
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
김건희님의 답변
2004-12-29- 0
말씀하신데로 보통 ITO박막이라 하면 In2O3에 SnO2를 섞어서 만든 ITO 세라믹 타겟을 사용하여 제작을 합니다. 그러나 순수한 In2O3가 화학양론비를 만족한다면 이는 절연체로서 존재하게 됩니다. 그러나 결정구조를 붕괴시키지 않을 정도의 환원을 통해 산소 공공이 발생한다면 어느정도 전기 전도도를 가지게 되지요... 여기에 SnO2 즉 주석을 함유하여 3가의 인듐을 4가의 주석으로 대체하여 자유전자의 수를 늘리는 것이 ITO입니다. 답변이 되었으면 합니다.