2005-03-02
org.kosen.entty.User@2b10e026
민병훈(hoon0529)
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안녕하십니까
반도체 또는 tft에는 소자의 보호를 위한 passivation 층이 사용되는 것으로 알고 있습니다.
이때 사용되는 재료에는 어떤 것들이 있는지 알고 싶습니다.
혹시 고분자도 사용이 가능한지도 알고 싶습니다.
여러 고수님들의 조언 부탁드립니다. 혹시 관련된 자료가 있으면 함께 보내주시기 바랍니다.
감사합니다.
민병훈 배상
- semiconductor
- tft lcd
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
윤승욱님의 답변
2005-03-02- 0
반도체에서는 SiO2, SiN 그리고 polymide가 주로 사용됩니다. 웨이퍼레벨 패키징에서는 BCB라는 dielectrics가 주로 사용되고 있읍니다. >안녕하십니까 > >반도체 또는 tft에는 소자의 보호를 위한 passivation 층이 사용되는 것으로 알고 있습니다. >이때 사용되는 재료에는 어떤 것들이 있는지 알고 싶습니다. >혹시 고분자도 사용이 가능한지도 알고 싶습니다. > >여러 고수님들의 조언 부탁드립니다. 혹시 관련된 자료가 있으면 함께 보내주시기 바랍니다. > >감사합니다. > >민병훈 배상 >